공기를 정화하여 청정한 공기를 공급하는 핵심 장비
적용분야 : ICR, BCR 클린룸
장비 내부의 압력, 압력 유지 및 청정한 공기를 공급
적용분야 : ICR클린룸, ME장비
공기중의 휘발성 유기화합물(VOCs)을 제거하는 장비
적용분야 : FPD시설
외부 오염물질이 유입되는 것을 방지하며 출입구 등에 사용
적용분야: 클린룸, 병원 수술실
정기적인 유지보수 체계를 통해 반도체 디스플레이 공장 클린룸의 청정 환경을 유지합니다.
현장에서 필요한 조치가 신속, 정확하게 이루어짐으로써 빈번히 발생할 수 있는 설비 사고를 예방합니다.
체계적인 이력관리로 장비 가동 효율을 높이고, 에너지 비용을 절감합니다.
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